半導體乾蝕刻技術口碑必買
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內容簡介: 博客來書店日本生產工程權威獎項得主力作,圖解與表格詳實,帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌,提升現場即戰力。
◎作者於1989年,以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年,以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。
◎圖解乾蝕刻技術的原理與實務,讓你一讀即懂。
◎由製程直到設備、新技術,更進一步設置有關電漿損傷的章節,以便理解全貌並了解乾蝕刻今後的課題與展望。
博客來網路書店針對半導體乾蝕刻技術涉及的電漿物理、化學、材料、電磁等複雜現象,循序解析,詳解各環節的連帶影響,提升現場即時應變的作戰能力,為優秀工程師養成必備的工具書!
博客來網路書局非等向性蝕刻是如何實現?為何Si的蝕刻使用Cl2及HBr,而SiO2的蝕刻則使用氟碳系列的氣體?為何Poly-Si及Al的蝕刻使用ICP(電感耦合式電漿)之類的高密度電漿,而SiO2的蝕刻則使用中密度電漿於間距狹窄的平行板型蝕刻機?
本書告訴你這些連現場資深乾蝕刻工程師都不見得充分理解的知識。
從乾蝕刻技術的基礎講到應用,讓初學者容易理解與整理;對於已有程度、經驗的工程師而言,讀之更加能理解、掌握乾蝕刻技術的全貌。
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- 新功能介紹 作者: 野尻一男
- 譯者:倪志榮
- 出版社:白象文化 新功能介紹
- 出版日期:2015/03/01
- 語言:繁體中文
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內容來自YAHOO新聞
世大運後 莊佳佳希望多帶肌肉進軍奧運
(中央社記者李宇政光州14日電)跆拳道女將莊佳佳本屆2015年光州世大運踢下銀牌,雖然成績不如2011年在深圳世大運踢金,但她放眼更高層級的奧運,未來要增加肌力,加強對抗性。
韓國光州世大運中華代表團中,除了射擊美少女「證件妹」吳佳穎已經拿到奧運門票,選手莊佳佳憑著積分,也幾乎跨進奧運門檻。
今年在俄羅斯世錦賽奪金的莊佳佳目前是67公斤級以下的選手,但她兩年前曾經踢過73公斤級以下,去年烏茲別克亞錦賽還降體重踢62公斤級以下,磨練敏捷度。
莊佳佳去年仁川亞運因為身體狀況不佳,僅獲銅牌,透過長庚醫院醫師林瀛洲的治療、台灣師大老師李恆儒增加肌力,一舉在世錦賽奪金,幾乎取得2016年巴西里約熱內盧奧運資格。
「現在身體幾乎可以說是完全健康,只有右腳阿基里斯腱偶爾痠痛。」莊佳佳表示,只是運動疲勞而已。
對於如何備戰奧運,莊佳佳笑著說,以前體重的確起伏蠻大的,但現在的體重穩定維持,不過她的重量是慢慢升上來的,反觀許多67公斤級以下好手是68、69公斤降下來的,她們的力量和對抗性就會比較強。
莊佳佳希望再增加一點體重,「增加到想要的地方」,林瀛洲會指導她飲食觀念,如何攝取高蛋白增長肌肉,李恆儒則訓練她的身體,加強核心。
另外,莊佳佳還會選擇性的參加國際賽,透過世界跆拳道聯盟的大獎賽,適應高強度對手與爭取奧運積分,朝生命中第一次的奧運聖堂邁進。1040714
新聞來源https://tw.news.yahoo.com/世大運後-莊佳佳希望多帶肌肉進軍奧運-084423776.html
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